Thermal flow meter massa adalah jenis udara atau meter aliran udara terkompresi dengan unit aliran CFM.
Kebanyakan flow meter untuk mendapatkan laju aliran massa udara terkompresi perlu mengukur massa aliran dan membutuhkan perangkat tambahan untuk mengukur tekanan dan suhu, sehingga aliran massa dan kepadatan dapat dihitung.
Namun, meter aliran udara massa termal langsung mengukur aliran massa udara. Karena itu tidak terpengaruh oleh perubahan suhu dan tekanan. Dengan demikian meteran aliran massa memberikan bacaan yang lebih akurat, andal, dan berulang dibandingkan meter lainnya. Ini juga memiliki jangkauan lebih dari flow meter lainnya.