Pengukur aliran SCCM mengukur aliran gas dalam jumlah kecil dan pada tekanan rendah. Hal ini penting dalam industri seperti pembuatan chip komputer di mana pengendalian aliran gas sangat penting untuk pekerjaan seperti memasukkan bahan kimia ke dalam chip, membuat desain, atau membersihkan dengan gas.
Salah satu jenis flow meter SCCM disebut micro Thermal Mass Flow Meter. Ia bekerja dengan melihat bagaimana gas mendinginkan sensor panas. Semakin dingin suhunya, semakin cepat gas mengalir.
Pengukur aliran SCCM harus benar-benar akurat, sensitif, dan pandai menangani aliran gas kecil. Hal ini sangat penting di tempat-tempat di mana perubahan kecil saja pada aliran gas dapat mengacaukan pembuatan barang, seperti chip komputer atau obat-obatan.
Jadi, pengukur aliran SCCM adalah alat yang sangat penting untuk memastikan semuanya berjalan lancar di industri yang membutuhkan kontrol aliran gas yang tepat. Mereka memastikan semuanya tetap baik, bahkan ketika bekerja dengan jumlah gas yang sedikit.
