Pengukur aliran massa aliran rendah dan pengontrol aliran Seri SRK-DL dapat mengukur gas dengan laju sangat rendah hingga 2 sccm (2 ml/mnt). Pengukur aliran ultra rendah umumnya digunakan dalam berbagai aplikasi seperti kromatografi gas, analisis gas, penelitian laboratorium, dan proses industri yang memerlukan pengukuran aliran gas yang tepat, dapat digunakan sebagai pengukur aliran oksigen rendah, pengukur aliran udara laju aliran rendah, pengukur aliran meter untuk aplikasi aliran rendah Nitrogen (N2), pengukur aliran sangat rendah biogas, pengukur aliran sangat rendah untuk CO2, dll.
Prinsip Kerja Pengukur Aliran Gas Termal Aliran Rendah/Pengontrol Aliran
Pengontrol aliran massa laju aliran rendah terdiri dari sensor aliran massa aliran rendah, perangkat pelapis aliran laminar, katup pengatur pengontrol aliran, dan rangkaian kontrol amplifikasi. Hal ini dibuat dengan menggunakan efek distribusi perpindahan panas dari fluida yang mengalir untuk mengubah distribusi suhu dinding kapiler yang diukur.
Pengontrol aliran massa aliran rendah ini menggunakan prinsip kalorimetri suhu diferensial sebelum dan sesudah perpindahan panas kapiler untuk mengukur aliran massa gas serendah 2 sccm, tidak bergantung pada suhu dan tekanan. Perkuat sinyal aliran yang diukur oleh sensor, lalu bandingkan dengan tegangan yang disetel. Gunakan perbedaannya untuk menggerakkan katup pengatur kontrol, dan loop tertutup mengontrol aliran melalui saluran agar sama dengan aliran yang disetel.
Spesifikasi flowmeter/pengontrol aliran aliran rendah
- Kisaran Aliran Gas: 2 SCCM~ 30 SL/M, seperti 100 ml/menit, 200 sccm,1 LPM, 2 SLM,5 liter/menit,20 SLPM .
- Rasio Penurunan: 50:1 untuk pengontrol aliran massa digital; 100:1 untuk pengukur aliran massa digital;
- Ketepatan : ± 1% FS
- Linearitas : ± 0,5% FS
- Pengulangan: ± 0,2% FS
- Waktu Respons: pengontrol aliran massa <2s; pengukur aliran massa <0,8 detik
- Komunikasi: RS232/485.MODBUS
- Keluaran: 0~5V,4-20mA,1-5V
- Sumber Daya listrik : ±15VDC,24VDC
- Suhu Operasi: 0~50°C
- Tekanan operasi maksimal: 3MPa/10MPa
- Sensor aliran massa atau bahan pengontrol aliran : Besi tahan karat
- Koneksi proses pengukur aliran aliran rendah: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
